精密位移台的使用领域和发展前景怎样?
位移台精密定位在微观领域研究是重要技术之一,其技术水平直接影响到微观领域的研究水平。随着微观领域中纳米技术、激光技术、精密机械技术、微电子技术和生物医学技术等研究的不断深入,对精密定位技术水平的要求也越来越高。
现在精密定位技术得到了广泛的应用。例如:
计量型紫外光学显微镜中,用于掩膜版的线宽测量;
原子力显微镜中,用于测量样品表面微观形貌以及进行纳米加工;
激光技术中,用于光纤对接时的精密对准;
精密机械技术中,用于部件的加工及装配;
集成电路的制造中,用于超精密微定位装置及进给装置;
光通信技术中,用于光纤芯片精密对准;
生物医学技术中,用于细胞的切割等。
所以精密定位技术的研究,可以不断提高纳米技术、激光技术、精密机械技术、微电子计术和生物医学技术等研究及生产。
精密位移定位技术根据定位行程的不同可分为,微行程和大行程定位技术。微行程定位技术是指几纳米至几百微米的定位行程的精密定位;大行程定位技术是指几毫米至几百毫米的定位行程的精密定位。由于大行程定位技术比微行程定位技术有较大的定位行程,所以大行程定位比微行程定位技术的应用更广泛。如在原子力显微镜中,要求承载样品的工作台与扫描头能够实现大范围的超精密定位来扩大原子力显微镜的测量范围;在集成电路中,要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造;在衍射光栅刻划机中,要求承载光栅毛坯的工作台能够实现几百毫米定位行程内具有纳米级定位精度的精密定位,才能够实现大面积高精度衍射光栅的刻划。
大行程定位技术的研究,不仅仅会加快微观领域中的技术研究发展,还会增进相关产业的技术发展。所以针对大行程精密定位技术的研究,不仅具有重大的科学意义,还具有实用价值。比如,缩短国内外机械制造水平的差距,对于国内大行程精密定位技术水平的提高,使机械制造水平的提高将增进我国的工业以及国民经济的快速发展。